空气净化和空调通风设计-电子洁净室检测

7．1．1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。

7．1．2 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。

7．1．3 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置：
1 运行班次或使用时间不同；
2 生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康、安全有影响；
3 对温、湿度控制要求差别大；
4 洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊；
5 净化空调系统与一般空调系统；
6 系统风量过大的净化空调系统。

7．1．4 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合本规范第3．2．3条的规定。

7．1．5 洁净室(区)内的新鲜空气量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

7．1．6 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：
1 各洁净室(区)与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定；
2 不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大于等于5Pa；
3 洁净室(区)与非洁净室(区)之间的静压差应大于5Pa；
4 洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。

7．1．7 洁净室(区)维持静压差值所需的压差风量，宜采用缝隙法或换气次数法确定。

7．1．8 送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

7．1．9 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化处理。

7．1．10 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定。洁净室(区)宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。